Page 46 - 職場健康促進

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科技新貴得讓“風險”踩剎車

台灣高科技業是經濟發展的火車頭，但職場環境隱藏
的健康影響因子不容忽視。如半導體工業，使用之化學物
質種類高達 200 餘種，部份物質使用被歸類在特別危害健
康作業之中，應注意其是否超過容許使用範圍。中科管理
局曾針對科學園區內光電半導體廠家調查分析，5 家光電半
導體業及光電業廠商勞工，接觸化學品暴露之風險最高為
預防保養作業，可能接觸之化學品包含 TMAH( 氫氧化四甲
基銨 )、PGME、PGMEA、環己酮、丙酮、異丙醇、酒精等。
在半導體製程及環境中，半導體光刻與佈值的現場工作人
員，男性可能有血液異常，女性可能出現肝臟異常的風險。
如無塵室及實驗室裡，若有「電磁輻射」超標，可能危害
改變體內荷爾蒙與其他活動，造成癌症、流產、畸胎、神
經問題風險。製程中「微影成像」時可能有紫外線危害，「電
漿蝕刻與電漿去灰」時可能會有無線電波與微波健康危害。
「檢查 IC 塗敷金屬厚度」( 舊技術 ) 產生的 β 射線源，「靜
電中和裝置」用在遮罩製造的 α 射線源 ( 釙，polonium)，
「洩露檢查」的氪 (Kr)-85 及「抗輻射測試」的鈷 (Co)-60，
還有 X- 光顯影成像裝置、X- 光螢光裝置、電子掃描顯微鏡
(SEM)、金屬塗敷檢查裝置、離子束研磨、植離子裝置產生
職 的 X 光輻射危害。

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